A JSR Corporation anunciou hoje a aceleração do seu desenvolvimento em conjunto com a SK hynix Inc. para aplicar Inpria, uma resistência de óxido metálico (Metal Oxide Resist, MOR) de ultravioleta extrema (Extreme Ultraviolet, EUV) da empresa JSR para fabricação de chips DRAM avançados. A plataforma fotorresistente de óxido metálico amplamente patenteada da Inpria para EUV permite que clientes padronizem com eficácia arquiteturas de dispositivos de nós avançados.
As soluções de materiais Inpria entregam o desempenho necessário para reduzir significativamente o custo de padronização EUV e são compatíveis com processos comprovados e configurações de equipamentos. A MOR da Inpria pode ser aplicada com um processo padrão de revestimento rotacional.
“A fabricação com EUV é complexa e exige materiais de ponta”, afirmou BK Lee, chefe de processo de pesquisa e desenvolvimento da SK hynix. “As resistências de óxido de estanho prometem entregar desempenho e um menor custo de fabricação à próxima geração de DRAM de ponta”.
“A tecnologia da JSR sempre foi baseada na inovação de materiais”, afirmou Tadahiro Suhara, diretor administrativo da JSR. “Estamos comprometidos em acelerar o roteiro tecnológico da SK hynix permitindo a impressão eficiente dos menores recursos. A ciência é pioneira, mas a economia também”.
A EUV já é utilizada na produção comercial nos processos de litografia mais avançados usados na fabricação de semicondutores e, à medida que o setor se move para dimensões críticas menores na fabricação de chips, espera-se que seu uso aumente significativamente.
A Inpria é líder em resistências EUV de óxido metálico e alcançou a maior resolução do mundo usando sistemas de exposição EUV. A JSR adquiriu a Inpria em 2021 e, com o aumento da adoção da EUV, está investindo na expansão das capacidades de produção e serviços de suporte ao cliente para fabricação em grandes volumes.
Sobre a JSR Corporation
A JSR Corporation é uma empresa de tecnologia de precisão que habilita avanços científicos e possibilita suas aplicações práticas. Sediada em Tóquio, Japão, a JSR enfrenta os desafios tecnológicos mais desafiadores como uma fornecedora global para clientes em indústrias de ponta. Nossos produtos e serviços geram avanços nos semicondutores que alimentam nosso mundo, aceleram o desenvolvimento de novas terapias para doenças que ameaçam vidas e muito mais. Para saber mais sobre como a JSR está enriquecendo sociedades pelo mundo e melhorando a qualidade de vida, acesse www.jsr.co.jp.
O texto no idioma original deste anúncio é a versão oficial autorizada. As traduções são fornecidas apenas como uma facilidade e devem se referir ao texto no idioma original, que é a única versão do texto que tem efeito legal.
Ver a versão original em businesswire.com: https://www.businesswire.com/news/home/20220802005753/pt/